磁浸没透镜的宽束曲轴像差分析的微分代数方法研究

程 敏;唐天同;姚振华;王振华

电子学报 ›› 2002, Vol. 30 ›› Issue (6) : 846-848.

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磁浸没透镜的宽束曲轴像差分析的微分代数方法研究

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Study on Differential Algebraic Method of Curvilinear-Axis Aberration Analysis with Wide Beam for Magnetic Immersion Lenses

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