射频/微波MEMS Shunt开关的开启时间研究

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电子学报 ›› 2002, Vol. 30 ›› Issue (8) : 1204-1206.

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Study on Switching Times of RF/Microwave MEMS Shunt Switches

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{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2002, 30(8): 1204-1206.

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国家重点基础研究规划项目(973)(No.G1999033105);国家自然科学基金(No.69876012);国家杰出青年基金(No.69925409);上海市重点学科项目(2001年)

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