RF-MEMS电感三维衬底耦合的扩展PEEC法分析

龙海波;张跃江;冯正和

电子学报 ›› 2002, Vol. 30 ›› Issue (9) : 1308-1312.

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RF-MEMS电感三维衬底耦合的扩展PEEC法分析

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Analysis of 3D-Substrate Coupling in RF-MEMS Inductors by Extended PEEC

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973国家重点基础研究基金项目(No.G1999033105);国家自然科学基金项目(No.6017015)
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