降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型

闻瑞梅;梁骏吾

电子学报 ›› 2003, Vol. 31 ›› Issue (11) : 1601-1604.

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降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型

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An Energy Transfer Photochemical Model for the Abatement of Total Organic Carbon in High Purity Water Used in ULSI Fabrication

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