MOVPE生产用高纯水中硅的去除

闻瑞梅;徐志彪;孟广祯;吴 坚

电子学报 ›› 2003, Vol. 31 ›› Issue (5) : 721-723.

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MOVPE生产用高纯水中硅的去除

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Silica Removal from Purified Water Produced for MOVPE Process

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