多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型

方玉明, 黄庆安, 李伟华

电子学报 ›› 2003, Vol. 31 ›› Issue (S1) : 2194-2196.

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多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型

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A Mechanics-Magnetic Coupling Macromodel for a Magnetic Microactuator with a Multilevel Meander

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