ULSI中Cu互连线的显微结构及可靠性

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电子学报 ›› 2004, Vol. 32 ›› Issue (8) : 1302-1304.

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ULSI中Cu互连线的显微结构及可靠性

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Microstructure and Reliability of ULSI Copper Interconnects

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{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2004, 32(8): 1302-1304.

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国家自然科学基金(No.69936020)

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