体硅CMOS FinFET结构与特性研究

殷华湘, 徐秋霞

电子学报 ›› 2005, Vol. 33 ›› Issue (8) : 1484-1486.

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电子学报 ›› 2005, Vol. 33 ›› Issue (8) : 1484-1486.
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体硅CMOS FinFET结构与特性研究

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Bulk Silicon CMOS FinFET's Structure and Characteristics

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