锗预非晶化注入对镍硅(NiSi)金属栅功函数的影响研究

蔡一茂, 黄如, 单晓楠, 周发龙, 王阳元

电子学报 ›› 2006, Vol. 34 ›› Issue (8) : 1534-1536.

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锗预非晶化注入对镍硅(NiSi)金属栅功函数的影响研究

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Study on the Impact of Germanium Preamorphization on the Work Function of Fully Silicided NiSi Gate

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