一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构

PDF(641 KB)

电子学报 ›› 2006, Vol. 34 ›› Issue (8) : 1549-1552.

论文

作者信息 +

On-Line Extraction for Thermal Diffusivity of Surface-Micromachined Polysilicon Thin Films

Author information +

文章历史 +

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2006, 34(8): 1549-1552.

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2006, 34(8): 1549-1552.

中图分类号：

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

PDF(641 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航