GaN外延结构中微区应变场的测量和评价

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电子学报 ›› 2008, Vol. 36 ›› Issue (11) : 2139-2143.

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GaN外延结构中微区应变场的测量和评价

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Measurement and Evaluation of Micro-Sized Strain Fields in GaN Epitaxial Structure

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{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2008, 36(11): 2139-2143.

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国家自然科学基金(No.69936020)

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