倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究

PDF(1086 KB)

电子学报 ›› 2008, Vol. 36 ›› Issue (5) : 1035-1040.

论文

作者信息 +

Study of Inertial Pulse Response of MEMS Capacitive Accelerometer with Non-Parallel Combs

Author information +

文章历史 +

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2008, 36(5): 1035-1040.

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2008, 36(5): 1035-1040.

中图分类号：

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

PDF(1086 KB)

Accesses

Citation

Detail

国家自然科学基金(No.60506015);浙江省自然科学基金(No.Y107105)

段落导航