小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究

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电子学报 ›› 2009, Vol. 37 ›› Issue (8) : 1860-1864.

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Study on Low Power Inductively-Coupled Microwave Plasma Source Based on Planar Spiral Microstrip

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{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2009, 37(8): 1860-1864.

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