电子束光刻三维仿真研究

宋会英;杨 瑞;赵真玉

电子学报 ›› 2010, Vol. 38 ›› Issue (3) : 617-619.

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学术论文

电子束光刻三维仿真研究

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Three-dimensional Simulation Study on the Electron Beam Lithography

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