新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究

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电子学报 ›› 2010, Vol. 38 ›› Issue (5) : 1053-1057.

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A Novel MEMS Inertial Sensor with the Actuators Drived by Lorentz Forcefor Increasing the Initial Sensing Capacitance

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2010, 38(5): 1053-1057.

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2010, 38(5): 1053-1057.

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