集成电容式传感器边界电极的静电电容值分析

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电子学报 ›› 2010, Vol. 38 ›› Issue (6) : 1410-1413.

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Analysis of the electrostatic capacitance of an integrated capacitive sensor’s external electrons

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2010, 38(6): 1410-1413.

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2010, 38(6): 1410-1413.

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作者简介：

王阳女，讲师，1980年出生于安徽，现为安徽大学电子科学与技术学院博士研究生，主要研究领域有集成传感器、射频电路设计等.

陈军宁男，教授，博士生导师，1953年出生于安徽，主要研究领域有VLSI系统与设计、MEMS设计、深亚微米MOS器件物理等。(本文通信作者)
E-mail: jnchen@ahu.edu.cn

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