板壳状微电子器件的数字层析成像检测方法

傅健;王宏钧;李斌;江柏红

电子学报 ›› 2010, Vol. 38 ›› Issue (7) : 1580-1584.

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板壳状微电子器件的数字层析成像检测方法

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Computed Laminography Imaging Inspection Method for Plate-Shell Microelectronic Devices

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