一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法

PDF(689 KB)

电子学报 ›› 2011, Vol. 39 ›› Issue (8) : 1869-1872.

作者信息 +

A 3-D Surface Evolvement Algorithm for Silicon Etching Simulations

Author information +

文章历史 +

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2011, 39(8): 1869-1872.

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2011, 39(8): 1869-1872.

中图分类号：

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

PDF(689 KB)

Accesses

Citation

Detail

安徽省教育厅省级自然科学研究计划重点基金(No.KJ2008A105);东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金;中央高校基本科研业务费专项资金(No.2011HGQC0997)

段落导航