纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术

张紫辰, 尤政

电子学报 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (11) : 2322-2330.

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电子学报 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (11) : 2322-2330. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.11.027
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纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术

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Fundamentals of Die-Level Assembly Techniques for Phase-Only Liquid Crystal on Silicon Devices

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