缝隙阵列的时域溅射特性研究

侯海健, 李大伟, 王均宏

电子学报 ›› 2018, Vol. 46 ›› Issue (8) : 2030-2034.

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电子学报 ›› 2018, Vol. 46 ›› Issue (8) : 2030-2034. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2018.08.032
学术论文

缝隙阵列的时域溅射特性研究

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Study on the Time Domain Sputtering Effect and Scattering of Slot Arrays of Different Sizes

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