基于TCAD的绝缘体上硅器件总剂量效应仿真技术研究

彭超, 雷志锋, 张战刚, 何玉娟, 黄云, 恩云飞

电子学报 ›› 2019, Vol. 47 ›› Issue (8) : 1755-1761.

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电子学报 ›› 2019, Vol. 47 ›› Issue (8) : 1755-1761. DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2019.08.020
学术论文

基于TCAD的绝缘体上硅器件总剂量效应仿真技术研究

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Research on Total Ionizing Dose Effect Simulation Technology of Silicon-on-Insulator Device Based on TCAD

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