退火温度对基于Bi1.5Zn1.05Nb1.5O7栅绝缘层的ZnO-TFTs性能的影响

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电子学报 ›› 2022, Vol. 50 ›› Issue (2) : 455-460. DOI: 10.12263/DZXB.20210031

退火温度对基于Bi_1.5Zn_1.05Nb_1.5O₇栅绝缘层的ZnO-TFTs性能的影响

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Effect of Annealing Temperature on Performance of ZnO-TFTs Based on Bi_1.5Zn_1.05Nb_1.5O₇ Gate Insulator

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