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一种基于大范围扫描离子电导显微镜的形貌和体积测量方法
郭仁飞, 庄健, 于德弘
Topography and Volume Measurement Method Based on Large-scale Scanning Ion Conductance Microscopy
GUO Ren-fei, ZHUANG Jian, YU De-hong
电子学报 . 2017, (
5
): 1072 -1077 . DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2017.05.007