基于微纳加工技术的生物传感器研究进展
李杜娟, 陈慧旖, 刘超然, 樊凯, 王高峰
A Review on MEMS/NEMS-Based Biosensor
LI Du-juan, CHEN Hui-yi, LIU Chao-ran, FAN Kai, WANG Gao-feng
电子学报 . 2021, (6): 1228 -1236 .  DOI: 10.12263/DZXB.20200266