框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究
吴永乐, 吴昊鹏, 赖志国, 蔡洵, 唐滨, 杨清华, 杨雨豪, 王卫民
The Performance Improvement of Thin Film Bulk Acoustic Resonators by Frame Structure
WU Yong-le, WU Hao-peng, LAI Zhi-guo, CAI Xun, TANG Bin, YANG Qing-hua, YANG Yu-hao, WANG Wei-min
电子学报
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2024, (2): 407
-413
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DOI: 10.12263/DZXB.20220346
