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自适应逆控制策略在IC材料切片设备中的应用
汤 睿;刘宏立;戴瑜兴;张义兵;蒋 近
Adaptive Inverse Control Strategy and Its Application in IC Material Slicing Equipment
TANG Rui;LIU Hong-Li;DAI Yu-xing;ZHANG Yi-bing;JIANG Jin
电子学报 . 2009, (11): 2480 -2483 . 

创刊日期：1962年创刊（月刊）
主办单位：中国电子学会
ISSN　0372-2112
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