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硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究
丁 勇;刘泽文;刘理天;李志坚
Design and Fabrication of Silicon Micromachining Suspended Inductor
DING Yong;LIU Ze-wen;LIU Li-tian;LI Zhi-jian
电子学报 . 2002, (
11
): 1597 -1600 .
