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低介电常数(low-k)介质在ULSI中的应用前景
阮 刚;肖 夏;朱兆
Prospect on the Applicatoin of Low-k Dielectric in ULSI
RUAN Gang;XIAO Xia;ZHU Zhao-min
电子学报 . 2000, (11): 84 -87 . 

创刊日期：1962年创刊（月刊）
主办单位：中国电子学会
ISSN　0372-2112
CN　11-2087/TN
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