大面积双面外延YBCO超导薄膜研制

李言荣; 陶伯万; 刘兴钊; 罗 安; J.Geerk; F.Ratzel; R.Smithy

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大面积双面外延YBCO超导薄膜研制

论文 | 更新时间：2025-07-16

- 大面积双面外延YBCO超导薄膜研制
- Large Area Double-sided YBCO Epitaxial Superconducting Thin Film
- 电子学报 2000年28卷第12期页码：131-132
- 作者机构：
  
  1. 电子科技大学,成都,610054
  2. INFP,FZK of Karlsrule,Germany
  3. 电子科技大学成都,610054
  4. INFPFZK of KarlsruleGermany
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TN451
- 纸质出版：2000
- 稿件说明：
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李言荣, 陶伯万, 刘兴钊, 等. 大面积双面外延YBCO超导薄膜研制[J]. 电子学报, 2000,28(12):131-132.

LI Yan-rong, TAO Bo-wan, LIU Xing-zhao, et al. Large Area Double-sided YBCO Epitaxial Superconducting Thin Film[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(12): 131-132.
李言荣, 陶伯万, 刘兴钊, 等. 大面积双面外延YBCO超导薄膜研制[J]. 电子学报, 2000,28(12):131-132. DOI：

LI Yan-rong, TAO Bo-wan, LIU Xing-zhao, et al. Large Area Double-sided YBCO Epitaxial Superconducting Thin Film[J]. Acta Electronica Sinica, 2000, 28(12): 131-132. DOI：

摘要

本文通过倒筒式直流对靶溅射(ICP)方法

在3英寸范围内LaAlO

和蓝宝石(Al

)单晶基片上成功实现了两面同时沉积YBCO(YBa

Oy)高温超导外延薄膜

其

=88~91K

=1~5×10

A/cm

(77K

145GHz)=20~40mΩ

双面薄膜的两面一致性和面内均匀性都非常良好

可以满足微波器件研制的要求.

Abstract

Epitaxial YBCO(YBa

Oy) thin film of large area sized at Φ30mm-3 inch are deposited at the same time on LaAlO

and sapphire substrates by inverted cylindrical opposited target sputtering technology (ICP).These films show the values of T

=88~91K

=1~5×10

A/cm

(77K

145GHz)=20~40mΩ.The homogeneity of film at any side and reproducibility of film at both sides are good enough

to be applicable in microwave devices.

关键词

Keywords

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