控制超大规模集成电路用水中的溶解氧和总有机碳浓度的研究

闻瑞梅;陈胜利

电子学报 ›› 2001, Vol. 29 ›› Issue (8) : 1009-1012.

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控制超大规模集成电路用水中的溶解氧和总有机碳浓度的研究

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Study on Controlling the Concentrations of Dissolved Oxygen and Total Organic Carbon in Water Used for ULSI

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