低能He注入局域寿命控制电导调制型功率器件输运模型

方 健;李肇基;李鸿雁;杨 健

电子学报 ›› 2001, Vol. 29 ›› Issue (8) : 1072-1075.

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低能He注入局域寿命控制电导调制型功率器件输运模型

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A Transport Model for Conductivity Modulation Power Device with Localized Lifetime Control by Low Energy He Ion Implantation

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国家"九五"军事电子预研项目(No.8.3.5.2)
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