MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法

PDF(313 KB)

电子学报 ›› 2007, Vol. 35 ›› Issue (2) : 311-314.

论文

作者信息 +

A Method for In-Situ Measuring Average Stress Gradient and Elastic Modulus of a MEMS Film

Author information +

文章历史 +

导出引用

{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2007, 35(2): 311-314.

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. Acta Electronica Sinica, 2007, 35(2): 311-314.

中图分类号：

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

PDF(313 KB)

Accesses

Citation

Detail

段落导航