面向医疗微系统应用的基于引线键合仪的碳纳米管转移集成工艺方法
王晓晶, 罗晓亮, 王浩旭, 尹建程, 胡振峰, 梁秀兵
Transfer and Integration of Carbon Nanotubes Using a Wire Bonder for Application in Medical Microsystems
WANG Xiao-jing, LUO Xiao-liang, WANG Hao-xu, YIN Jian-cheng, HU Zhen-feng, LIANG Xiu-bing
电子学报
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2022, (4): 984
-989
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DOI: 10.12263/DZXB.20211001
