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一种可用于硅刻蚀工艺模拟的三维表面演化算法
张鉴;戚昊琛;徐栋梁;胡智文
A 3-D Surface Evolvement Algorithm for Silicon Etching Simulations
ZHANG Jian;QI Hao-chen;XU Dong-liang;HU Zhi-wen
电子学报 . 2011, (8): 1869 -1872 . 

创刊日期：1962年创刊（月刊）
主办单位：中国电子学会
ISSN　0372-2112
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