一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构

戚丽娜, 黄庆安, 李伟华

On-Line Extraction for Thermal Diffusivity of Surface-Micromachined Polysilicon Thin Films

QI Li-na, HUANG Qing-an, LI Wei-hua

电子学报 . 2006, (8): 1549 -1552 .