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MOVPE生产用高纯水中硅的去除
闻瑞梅;徐志彪;孟广祯;吴 坚
Silica Removal from Purified Water Produced for MOVPE Process
WEN Rui-mei;XU Zhi-biao;MENG Guang-zhen;WU Jian
电子学报 . 2003, (5): 721 -723 . 

创刊日期：1962年创刊（月刊）
主办单位：中国电子学会
ISSN　0372-2112
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