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电子束光刻三维仿真研究
宋会英;杨 瑞;赵真玉
Three-dimensional Simulation Study on the Electron Beam Lithography
SONG Hui-ying;YANG Rui;ZHAO Zhen-yu
电子学报 . 2010, (3): 617 -619 . 

创刊日期：1962年创刊（月刊）
主办单位：中国电子学会
ISSN　0372-2112
CN　11-2087/TN
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