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控制超大规模集成电路用水中的溶解氧和总有机碳浓度的研究
闻瑞梅;陈胜利
Study on Controlling the Concentrations of Dissolved Oxygen and Total Organic Carbon in Water Used for ULSI
WEN Rui-mei;CHEN Shen-li
电子学报 . 2001, (8): 1009 -1012 . 

创刊日期：1962年创刊（月刊）
主办单位：中国电子学会
ISSN　0372-2112
CN　11-2087/TN
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