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TDDB击穿特性评估薄介质层质量
胡恒升;张敏;林立谨
Quality Evaluation of Thin Dielectric Film by TDDB Measurements
HU Heng-sheng;ZHANG Min;LIN Li-jin
电子学报 . 2000, (5): 80 -83 . 

创刊日期：1962年创刊（月刊）
主办单位：中国电子学会
ISSN　0372-2112
CN　11-2087/TN
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