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具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性
郝杰, 李维勤, 钱钧
Secondary Electron Characteristics of Dielectrics with Buried Structures in SEM
HAO Jie, LI Wei-qin, QIAN Jun
电子学报 . 2015, (5): 1028 -1034 .  DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.05.029

创刊日期：1962年创刊（月刊）
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ISSN　0372-2112
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