半导体生产线基于DBR和ANFIS相融合的动态调度方法研究
曹政才, 彭亚珍, 李博, 刘民
A DBR and ANFIS Integrated Dynamic Scheduling Algorithm for Semiconductor Wafer Fabrication
CAO Zheng-cai, PENG Ya-zhen, LI Bo, LIU Min
电子学报
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2015, (10): 2082
-2087
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DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2015.10.030
